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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：109 發(fā)布時間：2020/10/19
涂覆方形或矩形基板是一個挑戰(zhàn)
JINQUE居中既困難又費時
基板的邊角沒有支撐
旋轉(zhuǎn)時，會使腔室內(nèi)產(chǎn)生氣流
涂料在基板邊緣難以形成均勻的膜
嵌入式托盤有一個凹槽，可容納您的基板
可確保基板每次都能快速，完美地居中
嵌入式托盤是根據(jù)特定基板的尺寸大小定制的
將基板表面升至托盤上方防止邊緣堆積
現(xiàn)在，涂料就好像在圓形基板上流動一樣
涂層均勻一致，覆蓋范圍廣
